三協化成株式会社

ニュースリリース

  • 2007年5月30日

    電材用薬品の新工場 三協化成が広島に完成 クリーン化を徹底

     三協化成が12億円を投じ安芸津工場(広島県東広島市安芸津町)に建設中だった電子材料用薬品の新製造棟「F-11工場」(MCF新工場)が完成した。主要工程をクリーンルーム仕様にするなど高度に清浄度を追求した装備により、メタルイオンの汚染を10ppb以下に制御するというMCF(メタルコンタミネーションフリー)化工場としたのが特徴で、来年1月から本格運転を開始する。

    「F-11工場」は述べ面積1514平方メートル、鉄骨4階建て。グラスライニング製の3000リットル反応釜2基、6000リットル反応釜6基、かく拌機付きろ過装置2基などを設置。電子材料に要求されるメタルコンタミ防止のため、同社は27年間培ってきたコア技術であるメタルコンタミネーションフリー化技術のすべてを盛り込んでおり、工場全体のクリーン度を格段に向上させた。とくに固液分離、乾燥、製品詰めといった精製行程からはクリーンルームで対応することでメタルイオン汚染10ppb以下を実現した。

    新工場は既存工場の製造余力が限界に達したことから計画したもので、当面はi線、エキシマ対応のフォトレジスト中間体を中心に既存の6品目を製造するが、来期以降はエキシマ対応の新規製品の製造にも活用していく。安芸津工場では新研究棟も建設中で、年内をめどに完成させる。

    化学工業日報
    2007年5月30日掲載


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